1. Syövytyskammion lopullinen tyhjiöaste: pienempi tai yhtä suuri kuin 9.0×10-5Pa;
2. Etsausmateriaalit: pii, kvartsi, III-V-yhdisteet, keramiikka ja erilaiset metallit, ei-metalliset kovakalvot jne.;
3. Etsausnopeus: suurempi tai yhtä suuri kuin 10 nm ~ 200 nm/min (riippuen tietystä etsausmateriaalista ja prosessista);
4. Ionilähde: halkaisijaltaan Φ150 mm pyöreä DC-ionilähde;
5. Ar+-ionin energia-alue: 100 ~ 1000 eV;
6. Ionisäteen tiheys: 0~1 mA/cm2.